Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат дис. : 01.04.10 - Физика полупроводников / О.В. Королик
Автор(ы): Королик, О. В.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : Бел. гос. ун-т, 2010Физическая характеристика: 22 с.ББК: 01.04.10 - Физика полупроводников ; 22.379.2 ; 29.19.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.