Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния : автореферат дис. : 01.04.10 - Физика полупроводников / О.В. Королик

035 ## - Идентификатор записи другой системы
Контрольный номер системы (BY-VI0000)BY-VI0000-br2971805
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20101201d2010 y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
-- aa
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Влияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат дис.
-- 01.04.10 - Физика полупроводников
Первые сведения об ответственности О.В. Королик
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Мн.
Имя издателя, распространителя и т. д. Бел. гос. ун-т
Дата издания, распространения и т.д. 2010
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 22 с.
610 0# - Неконтролируемые тематические термины
Тематический термин АВТОРЕФАТЫ
Тематический термин ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Тематический термин ПОЛУПРОВОДНИКИ
Тематический термин КРЕМНИЙ
Тематический термин ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ НАНЕСЕНИЕ
Тематический термин ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ПОКРЫТИЕ
Тематический термин ВОДОРОД
Тематический термин ГЕЛИЙ
Тематический термин АРГОН
Тематический термин ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Тематический термин СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
Тематический термин АЎТАРЭФЕРАТЫ
Тематический термин ФIЗIКА ПАЎПРАВАДНІКОЎ
Тематический термин ПАЎПРАВАДНIКI
Тематический термин КРЭМНIЙ
Тематический термин ІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ НАНЯСЕННЕ
Тематический термин ІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ ПАКРЫЦЦЁ
Тематический термин ВАДАРОД
Тематический термин ГЕЛIЙ
Тематический термин ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI
Тематический термин ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI
Тематический термин СТРУКТУРНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 01.04.10 - Физика полупроводников
Код классификации nsnrrb
Индекс 22.379.2
Издание 2
Код классификации rubbk
Индекс 29.19.31
Издание 4
Код классификации rugasnti
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 2
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-VI0000
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Начальный элемент ввода Королик
Часть имени, кроме начального элемента ввода О. В.
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20101201
Правила каталогизации psbo
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20190703
Правила каталогизации psbo
899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Классификационная часть шифра 22.379.2
Часть, характеризующая документ К68
Языки: