Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат дис. : 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники / С.М. Аваков
Автор(ы): Аваков, С. М.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : УО "БГУ ИР", 2007Физическая характеристика: 42 с.ББК: 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники ; 32.844.1 ; 47.33.37Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.