Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат дис. : 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники / С.М. Аваков

Автор(ы): Аваков, С. М.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : УО "БГУ ИР", 2007Физическая характеристика: 42 с.ББК: 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники ; 32.844.1 ; 47.33.37Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Витебская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: