Зводны электронны каталог бібліятэк Віцебскай вобласці
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат дис. : 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники / С.М. Аваков
[ простой вид ]
| 035 ## - Идентификатор записи другой системы | |
|---|---|
| Контрольный номер системы | (BY-VI0000)BY-VI0000-br638263 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20101201d2007 y0rusy50 ca |
| 101 0# - Язык документа | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | rus |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | BY |
| 109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов | |
| Коды вида / характера документа | ac |
| -- | aa |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники |
| Сведения, относящиеся к заглавию | автореферат дис. |
| -- | 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники |
| Первые сведения об ответственности | С.М. Аваков |
| 210 ## - Публикация, распространение и т. д. | |
| Место издания, распространения и т.д. | Мн. |
| Имя издателя, распространителя и т. д. | УО "БГУ ИР" |
| Дата издания, распространения и т.д. | 2007 |
| 215 ## - Физическая характеристика | |
| Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей | 42 с. |
| 610 0# - Неконтролируемые тематические термины | |
| Тематический термин | МИКРОЭЛЕКТРОНИКА |
| Тематический термин | ТОПОЛОГИЯ |
| Тематический термин | ФОТОШАБЛОН |
| Тематический термин | АВТОМАТИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ |
| Тематический термин | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ |
| Тематический термин | СУБПИКСЕЛЬНОЕ РАЗРЕШЕНИЕ |
| Тематический термин | ФОТОЛИТОГРАФИЯ |
| Тематический термин | ПРОИЗВОДСТВО ИЗДЕЛИЙ |
| Тематический термин | МIКРАЭЛЕКТРОНIКА |
| Тематический термин | ТАПАЛОГIЯ |
| Тематический термин | ФОТАШАБЛОН |
| Тематический термин | АЎТАМАТЫЧНЫ КАНТРОЛЬ |
| Тематический термин | СУБПІКСЕЛЬНЫ ДАЗВОЛ |
| Тематический термин | ФОТАЛІТАГРАФІЯ |
| Тематический термин | ВЫТВОРЧАСЦЬ ВЫРАБАЎ |
| 615 ## - Предметные категории | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-SEK-ar1826174 |
| Начальный элемент ввода | Белорусский национальный документ |
| 686 ## - Индексы других классификаций | |
| Индекс | 05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники |
| Код классификации | nsnrrb |
| Индекс | 32.844.1 |
| Издание | 2 |
| Код классификации | rubbk |
| Индекс | 47.33.37 |
| Издание | 4 |
| Код классификации | rugasnti |
| 690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения | |
| Начальный элемент ввода (или индекс) | 2 |
| Код системы | Base |
| Код библиографирующего учреждения | BY-VI0000 |
| Тематический подзаголовок (или индекс) | RSEK |
| 700 #1 - Имя лица - первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Аваков |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | С. М. |
| 801 #0 - Источник происхождения записи | |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20101201 |
| Правила каталогизации | psbo |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20190703 |
| Правила каталогизации | psbo |
| 899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее) | |
| Идентификатор организации | |
| Классификационная часть шифра | 32.844.1 |
| Часть, характеризующая документ | А18 |
Ваша корзина пуста.
Your list search is empty.
Your list search is empty.
Языки:
+375 17 293 27 71