Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов : автореф. дис. на соискание уч. степени д-ра технич. наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Шершнев Евгений Борисович ; УО "Белорусский гос. ун-т информатики и радиоэлектроники"
Нет никаких комментариев для этого документа.