Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники : автореферат дис. : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / А.А. Агранович
Автор(ы): Агранович, А. А.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники, 2007Физическая характеристика: 22 с.ББК: 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников ; материалов и приборов электронной техники ; 32.843-03 ; 47.09Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.