Ионная имплантация / Х. Риссел, И. Руге ; пер. с нем. В. В. Климова, В. Н. Пальянова; под ред. [и с предисл.] М. И. Гусевой
Автор(ы): Риссел, Х.;
Руге, И.;
Климов, В. В.;
Пальянов, В. Н.;
Гусева, М. И.Язык документа: Русский ; of original work,ger.Страна публикации: RU.Издательство: Москва : Наука, 1983Физическая характеристика: 360 с. :
ил. ;
22 смББК: 22.379.2Наименование темы, используемое как предмет: ИССЛЕДОВАНИЙ МЕТОДЫ | ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ | ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ | ПОЛУПРОВОДНИКИ | ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ | ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА | ФИЗИКА | ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.