Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности : [Текст] / П. Дюваль ; пер. с англ. Н. В. Васильченко и др. ; под ред. С. А. Неустроева
Автор(ы): Дюваль, П.Язык документа: Русский.Страна публикации: RU.Издательство: М. : Мир, 1992Физическая характеристика: 263с.ББК: 31.77
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.