Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : Автореферат диссертации : 05.27.06 - Технология полупроводников и материалов электронной техники / Д.А.Голосов
Автор(ы): Голосов, Д. А.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : Ун-т информатики и радиоэлектроники, 2002Физическая характеристика: 24 с.ББК: 05.27.06 - Технология полупроводников и материалов электронной техники ; 32.843 ; 47.09Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.