Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. технических наук : 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Сергей Игоревич Мадвейко

Автор(ы): Мадвейко, электроника, род. 1984, Сергей ИгоревичЯзык документа: Русский ; of summary,Английский ; of summary,Русский ; of summary,Белорусский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2013Физическая характеристика: 25 с. ; 20 смББК: 32.840.4Note(s): Резюме на белорусском, русском и английском языках; Библиография: с. 17-22 (40 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ | ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | ПЛАЗМОТРОНЫ | СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ | СВЧ ПЛАЗМА | КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ | ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций Авторефераты диссертаций
Витебская областная библиотека. Отдел хранения основного фонда
Выдается

Резюме на белорусском, русском и английском языках

Библиография: с. 17-22 (40 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: