Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии : Автореферат диссертации : 01.04.10 - Физика полупроводников / А.Н.Петлицкий
Автор(ы): Петлицкий, А. Н.Язык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн. : БГУ, 2004Физическая характеристика: 21 с.ББК: 01.04.10 - Физика полупроводников ; 32.843.3 ; 29.19.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.