| 000 | 01933cam0 22003971ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-VI0000-br307564 | ||
| 005 | 20211209124204.0 | ||
| 100 | ^a20101201d2002 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aИонно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования ^eАвтореферат диссертации ^e05.27.06 - Технология полупроводников и материалов электронной техники ^fД.А.Голосов |
|
| 210 |
^aМн. ^cУн-т информатики и радиоэлектроники ^d2002 |
||
| 215 | ^a24 с. | ||
| 610 | 0 | ^aСВЕРХТВЕРДЫЕ МАТЕРИАЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | |
| 610 | 0 | ^aТОНКИЕ ПЛЕНКИ | |
| 610 | 0 | ^aРАДИОТЕХНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aАВТОРЕФЕРАТЫ | |
| 610 | 0 | ^aЗВЫШЦВЁРДЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aIОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГII | |
| 610 | 0 | ^aТОНКIЯ ПЛЁНКI | |
| 610 | 0 | ^aРАДЫЁТЭХНIЧНЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ | |
| 610 | 0 | ^aАЎТАРЭФЕРАТЫ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a05.27.06 - Технология полупроводников и материалов электронной техники ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a32.843 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.09 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a2 ^2Base ^9BY-VI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aГолосов ^bД. А. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20101201 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20190703 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-VI0000 ^h32.843 ^iГ61 |
||
| 035 | ^a(BY-VI0000)BY-VI0000-br307564 | ||