| 000 | 02287cam0 22005411ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-VI0000-br2971805 | ||
| 005 | 20211209105512.0 | ||
| 100 | ^a20101201d2010 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aВлияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния ^eавтореферат дис. ^e01.04.10 - Физика полупроводников ^fО.В. Королик |
|
| 210 |
^aМн. ^cБел. гос. ун-т ^d2010 |
||
| 215 | ^a22 с. | ||
| 610 | 0 | ^aАВТОРЕФАТЫ | |
| 610 | 0 | ^aФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ | |
| 610 | 0 | ^aПОЛУПРОВОДНИКИ | |
| 610 | 0 | ^aКРЕМНИЙ | |
| 610 | 0 | ^aИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ НАНЕСЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ПОКРЫТИЕ | |
| 610 | 0 | ^aВОДОРОД | |
| 610 | 0 | ^aГЕЛИЙ | |
| 610 | 0 | ^aАРГОН | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА | |
| 610 | 0 | ^aАЎТАРЭФЕРАТЫ | |
| 610 | 0 | ^aФIЗIКА ПАЎПРАВАДНІКОЎ | |
| 610 | 0 | ^aПАЎПРАВАДНIКI | |
| 610 | 0 | ^aКРЭМНIЙ | |
| 610 | 0 | ^aІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ НАНЯСЕННЕ | |
| 610 | 0 | ^aІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ ПАКРЫЦЦЁ | |
| 610 | 0 | ^aВАДАРОД | |
| 610 | 0 | ^aГЕЛIЙ | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI | |
| 610 | 0 | ^aЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI | |
| 610 | 0 | ^aСТРУКТУРНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a01.04.10 - Физика полупроводников ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a22.379.2 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a29.19.31 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a2 ^2Base ^9BY-VI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aКоролик ^bО. В. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20101201 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20190703 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-VI0000 ^h22.379.2 ^iК68 |
||
| 035 | ^a(BY-VI0000)BY-VI0000-br2971805 | ||