000 02287cam0 22005411ia4500
001 BY-VI0000-br2971805
005 20211209105512.0
100 ^a20101201d2010 y0rusy50 ca
101 0 ^arus
102 ^aBY
109 ^aac
^aaa
200 1 ^aВлияние низкоэнергетичной ионно-плазменной обработки водородом, гелием, аргоном на свойства пластин монокристаллического кремния
^eавтореферат дис.
^e01.04.10 - Физика полупроводников
^fО.В. Королик
210 ^aМн.
^cБел. гос. ун-т
^d2010
215 ^a22 с.
610 0 ^aАВТОРЕФАТЫ
610 0 ^aФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ
610 0 ^aПОЛУПРОВОДНИКИ
610 0 ^aКРЕМНИЙ
610 0 ^aИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ НАНЕСЕНИЕ
610 0 ^aИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ПОКРЫТИЕ
610 0 ^aВОДОРОД
610 0 ^aГЕЛИЙ
610 0 ^aАРГОН
610 0 ^aЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
610 0 ^aСТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА
610 0 ^aАЎТАРЭФЕРАТЫ
610 0 ^aФIЗIКА ПАЎПРАВАДНІКОЎ
610 0 ^aПАЎПРАВАДНIКI
610 0 ^aКРЭМНIЙ
610 0 ^aІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ НАНЯСЕННЕ
610 0 ^aІОННА-ПЛАЗМЕННАЕ ПАКРЫЦЦЁ
610 0 ^aВАДАРОД
610 0 ^aГЕЛIЙ
610 0 ^aЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI
610 0 ^aЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦIВАСЦI
610 0 ^aСТРУКТУРНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
615 ^3BY-SEK-ar1826174
^aБелорусский национальный документ
686 ^a01.04.10 - Физика полупроводников
^2nsnrrb
686 ^a22.379.2
^v2
^2rubbk
686 ^a29.19.31
^v4
^2rugasnti
690 ^a2
^2Base
^9BY-VI0000
^xRSEK
700 1 ^aКоролик
^bО. В.
801 0 ^aBY
^bBY-VI0000
^c20101201
^gpsbo
801 2 ^aBY
^bBY-VI0000
^c20190703
^gpsbo
899 ^aBY-VI0000
^h22.379.2
^iК68
035 ^a(BY-VI0000)BY-VI0000-br2971805