| 000 | 02147cam0 22004571ia4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BY-VI0000-br638263 | ||
| 005 | 20211209104755.0 | ||
| 100 | ^a20101201d2007 y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | ^arus | |
| 102 | ^aBY | ||
| 109 |
^aac ^aaa |
||
| 200 | 1 |
^aАвтоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники ^eавтореферат дис. ^e05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники ^fС.М. Аваков |
|
| 210 |
^aМн. ^cУО "БГУ ИР" ^d2007 |
||
| 215 | ^a42 с. | ||
| 610 | 0 | ^aМИКРОЭЛЕКТРОНИКА | |
| 610 | 0 | ^aТОПОЛОГИЯ | |
| 610 | 0 | ^aФОТОШАБЛОН | |
| 610 | 0 | ^aАВТОМАТИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aСУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | |
| 610 | 0 | ^aСУБПИКСЕЛЬНОЕ РАЗРЕШЕНИЕ | |
| 610 | 0 | ^aФОТОЛИТОГРАФИЯ | |
| 610 | 0 | ^aПРОИЗВОДСТВО ИЗДЕЛИЙ | |
| 610 | 0 | ^aМIКРАЭЛЕКТРОНIКА | |
| 610 | 0 | ^aТАПАЛОГIЯ | |
| 610 | 0 | ^aФОТАШАБЛОН | |
| 610 | 0 | ^aАЎТАМАТЫЧНЫ КАНТРОЛЬ | |
| 610 | 0 | ^aСУБПІКСЕЛЬНЫ ДАЗВОЛ | |
| 610 | 0 | ^aФОТАЛІТАГРАФІЯ | |
| 610 | 0 | ^aВЫТВОРЧАСЦЬ ВЫРАБАЎ | |
| 615 |
^3BY-SEK-ar1826174 ^aБелорусский национальный документ |
||
| 686 |
^a05.27.06 - Технология и оборуд. для пр-ва полупровод. материалов и приборов электронной техники ^2nsnrrb |
||
| 686 |
^a32.844.1 ^v2 ^2rubbk |
||
| 686 |
^a47.33.37 ^v4 ^2rugasnti |
||
| 690 |
^a2 ^2Base ^9BY-VI0000 ^xRSEK |
||
| 700 | 1 |
^aАваков ^bС. М. |
|
| 801 | 0 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20101201 ^gpsbo |
|
| 801 | 2 |
^aBY ^bBY-VI0000 ^c20190703 ^gpsbo |
|
| 899 |
^aBY-VI0000 ^h32.844.1 ^iА18 |
||
| 035 | ^a(BY-VI0000)BY-VI0000-br638263 | ||